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 MOVPE法による高濃度Sb添加ZnSeの作製とその評価
  井戸, 敏之; 後藤, 英雄, 2004.12. -- (中部大学工学部紀要 ; 40巻 (2004.12)). w.  <XC12000212>
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書誌
タイトル
MOVPE法による高濃度Sb添加ZnSeの作製とその評価
タイトル(その他)
MOVPEホウ ニヨル コウノウド Sbテンカ ZnSe ノ サクセイ ト ソノ ヒョウカ
タイトル(その他)
MOVPE Growth and Characterizatiofn ZnSe with Highly-doped Sb
作成者
井戸, 敏之||イド, トシユキ||Ido, Toshiyuki
作成者
後藤, 英雄||ゴトウ, ヒデオ||Goto, Hideo
公開者
中部大学工学部
書誌構造リンク
ISSN
21877408
XISSN
09108629
雑誌名
中部大学工学部紀要
巻次等
40
開始終了ページ
23-28
発行日
2004.12
主題
ZnSe, Sb, MOVPE, deep level, p-type, doping, XPS
内容記述
Sb-doped ZnSe epitaxial layers were grown on (100) GaAs substrates by MOVPE using DMZn, DMSe, and TESb in atmospheric pressure. In order to investigate the behaviour of Sb, photoluminescoence, four-crystal X-ray diffractometer, secondary ion mass spectrometry, and X-ray photoelectron spectroscopy were used. With the increase of TESb, deep emission peaked at 550nm becomes predominant. The origin seems to be a Zn vacancy and a deep level related to Sb. XPS shows that the bond of Sb-Se increases with increasing TESb. It is made clear that an Sb atom not only occupies on the anti-site but also makes compounds such as Sb2 Se3 and/or the deep acceptor when the Sb-doing becomes high. That is why the effective acceptor concentration remains less than 10^17/cm3.
登録日
2013.02.25
資源タイプ
紀要論文
資料種別(NIIタイプ)
Departmental Bulletin Paper
フォーマット
PDFファイル
著者版フラグ
publisher
機関名
中部大学
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