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 ITO膜の表面形態に及ぼすカーボンのドーピング効果
  多賀, 康訓; 福村, 俊雄, 2015.03. -- (総合工学 ; 27巻 (2015.3)). w.  <XC15000042>
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書誌
タイトル
ITO膜の表面形態に及ぼすカーボンのドーピング効果
タイトル(その他)
ITOマク ノ ヒョウメン ケイタイ ニ オヨボス カーボン ノ ドーピング コウカ
タイトル(その他)
Effect of carbon doping on the surface morphology of ITO films
作成者
多賀, 康訓||タガ, ヤスノリ||Taga, Yasunori
作成者
福村, 俊雄||フクムラ, トシオ||Fukumura, Toshio
公開者
中部大学総合工学研究所
書誌構造リンク
ISSN
09153292
雑誌名
総合工学
巻次等
27
開始終了ページ
9-17
発行日
2015.03
主題
Thin films, Surface morphology, ITO, C-doping, Sputter deposition
内容記述
Changes in surface morphology of ITO films by carbon doping were investigated by co-sputtering of ITO and C targets. Surface roughness Ra of 0.5 nm before doping rapidly increased to reach a maximum of 3.0 nm at 0.12wt% C. With further increase in doped C up to 0.18wt%, Ra decreased to 0.5 nm almost equal to before doping. SEM observation in size and number of cones coexisting in ITO films. Resistivity of the films decreased from1.4 x 10-3 Ω/cm to 8.0 x 10-4 Ωcm by doping 0.002wt% carbon and then increased to 2.7 x 10-3 Ωcm at 0.182. These results revealed changes in surface roughness were caused by the growth mechanism of doped C. It was concluded that changes in surface morphology of ITO film by carbon doping can be estimated by difference in surface diffusion rate of atoms and molecules co-deposited on the substrate.
登録日
2015.06.18
資源タイプ
論文
資料種別(NIIタイプ)
Departmental Bulletin Paper
フォーマット
PDFファイル
著者版フラグ
publisher
機関名
中部大学
外部リンク
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