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 マイクロ波プラズマCVD法による高品質グラフェン成長と透明導電膜の開発
  スディープ, アディカリ; 安林, 幹翁; 梅野, 正義, 2015.03. -- (中部大学生命健康科学研究所紀要 ; Vol. 11 (2015.3)). w.  <XC15000101>
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書誌
タイトル
マイクロ波プラズマCVD法による高品質グラフェン成長と透明導電膜の開発
タイトル(その他)
マイクロハ プラズマ CVDホウ ニヨル コウヒンシツ グラフェン セイチョウ ト トウメイ ドウデンマク ノ カイハツ
タイトル(その他)
Development of high-quality graphene and transparent conducting film by microwave plasma CVD.
作成者
スディープ, アディカリ||Sudip, Adhikari
作成者
安林, 幹翁||ヤスバヤシ, ミキオ||Yasubayashi, Mikio
作成者
梅野, 正義||ウメノ, マサヨシ||Umeno, Masayoshi
公開者
中部大学生命健康科学研究所
書誌構造リンク
ISSN
18803040
雑誌名
生命健康科学研究所紀要
巻次等
11
開始終了ページ
79-83
発行日
2015.03
主題
Graphene (グラフェン), Transparent conducting film )透明導電膜), Microwave CVD (プラズマCVD), Camphor (樟脳), Ultra violet ray (紫外線)
内容記述
マイクロ波表面波プラズマCVD 法で、環境に優しい原料ガス樟脳(Camphor)を使用して、銅箔上基板上に高品質グラフェンを成膜することができた。プラズマ照射中の紫外線カットにより高品質グラフェン膜の作製するためグラフェン成長中に置くチャンバー内にカバーを使用した。直接膜に当たらないようにすることで、紫外線の影響を防ぐことができ高品質なグラフェン(Id/Ig 比0.35)と透明導電膜(シート抵抗1.3kΩ/sq;透過率95.2%, @550nm)を成膜することができた。
登録日
2016.02.10
資源タイプ
研究報告
資料種別(NIIタイプ)
Departmental Bulletin Paper
フォーマット
PDFファイル
著者版フラグ
publisher
機関名
中部大学
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